鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）、北京琨騰科技有限公司以及有多年實踐經(jīng)驗的工程師團(tuán)隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿與市場前沿的交叉點，尋求創(chuàng)新引領(lǐng)與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

公司核心業(yè)務(wù)是半導(dǎo)體材料、工藝和裝備的研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造。

公司人才團(tuán)隊知識結(jié)構(gòu)完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊；還有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計師團(tuán)隊和工藝工程師團(tuán)隊，他們具有20多年成套裝備設(shè)計和生產(chǎn)制造經(jīng)驗。

公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳），具備先進(jìn)的半導(dǎo)體研發(fā)平臺和檢測儀器，可以在高起點開展科研工作。公司已具有4000多平米潔凈廠房，可開展半導(dǎo)體材料和組件的中試、生產(chǎn)，同時可進(jìn)行半導(dǎo)體裝備的生產(chǎn)和調(diào)試。

公司在半導(dǎo)體裝備方面已形成多種產(chǎn)品系列，可供用戶購買。

 

業(yè)績展示

完全自主設(shè)計制造的分子束外延（MBE）設(shè)備，包括自主設(shè)計制造的MBE超高真空外延生長室、工藝控制系統(tǒng)與軟件、高溫束源爐、高溫樣品臺、Rheed原位實時在線監(jiān)控儀（反射高能電子衍射儀）、直線型電子槍、膜厚儀（可計量外延生長的分子層數(shù)）、射頻源等關(guān)鍵部件。真空度達(dá)到2×10-8Pa。

設(shè)備于2005年在浙江大學(xué)光學(xué)儀器國家重點實驗室投入使用，至今仍在正常使用。

設(shè)計制造磁控濺射與等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法PECVD技術(shù)聯(lián)合系統(tǒng)，應(yīng)用于團(tuán)簇式太陽能薄膜電池中試線。使用單位中科院電工所。

設(shè)計制造了金剛石薄膜制備設(shè)備，應(yīng)用于金剛石薄膜材料的研究與中試生產(chǎn)設(shè)備。現(xiàn)使用單位中科院金屬研究所。

設(shè)計制造了全自動磁控濺射設(shè)備，可加水平磁場和垂直磁場，自行設(shè)計的真空機(jī)械手傳遞基片。應(yīng)用于高密度磁記錄材料與器件的研究和中試。現(xiàn)使用單位國家光電實驗室。

設(shè)計制造了OLED有機(jī)半導(dǎo)體發(fā)光材料及器件的研究和中試成套裝備?，F(xiàn)使用單位香港城市大學(xué)先進(jìn)材料實驗室。

設(shè)計制造了MOCVD及合金退火爐，用于GaN和ZnO的外延生長，實現(xiàn)LED無機(jī)半導(dǎo)體發(fā)光材料與器件的研究和中試。現(xiàn)使用單位南昌大學(xué)國家硅基LED工程技術(shù)研究中心。

設(shè)計制造了磁控濺射研究型設(shè)備。現(xiàn)使用單位浙江大學(xué)半導(dǎo)體所。

設(shè)計制造了電子束蒸發(fā)儀研究型設(shè)備。現(xiàn)使用單位武漢理工大學(xué)。