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氣體等離子體類型：各向異性等離子體是有方向性的，由電氣控制一些具體的高能離子，或某個范圍的能量（見美國鋁框系統(tǒng)）。
各向同性等離子體是多方位和包含整個的3–D等離子的設(shè)備（見美國石英筒備系統(tǒng)）。
氣體等離子體處理了超過濕化學處理幾個優(yōu)點。液體的表面張力的現(xiàn)象消除，正如泡沫的形成，這可能會導致不完全濕化。等離子蝕刻可以迅速結(jié)束，終止進程，而液體蝕刻工藝很難準確的結(jié)束。
“綠色”的優(yōu)勢：無氟氯化碳和污水，操作和環(huán)境安全。排除有毒和腐蝕性的液體。等離子處理的主要缺點是較低的吞吐量。
我們致力于氣體等離子處理，即讓氣體在常溫下，無熱相變下改變。這些氣體可以是惰性的，也可以是起反應的。在反應性氣體的情況下，利用動量轉(zhuǎn)移處理以及氣體反應的化學性質(zhì)改變材料的特性。
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