萊寶分子泵機(jī)組分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
這種泵具體可分為:
1)牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量,被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。
萊寶分子泵機(jī)組工作條件
(1)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到20000r/min,故分子泵啟動時間較長。
(2)氣體處于分子流狀態(tài),故需要配備前級泵,一般使用旋片泵作為前級泵。
結(jié)構(gòu)特點
復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi)((10-6~1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國Alcatle公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動密封的復(fù)合分子泵,可以做到完全無油,且不用前級泵直接向大氣中排氣。
分子泵生產(chǎn)廠家
分類
復(fù)合式分子泵的形式很多,按結(jié)構(gòu)分,主要有兩種:一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用來提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的葉片形狀,級數(shù)在l0級以內(nèi)。牽引級主要用來增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓力。
盤式牽引級是在平板圓盤平面上按一定規(guī)律開出數(shù)條型線溝槽,然后將數(shù)塊圓盤串接起來構(gòu)成,型線有阿基米德螺線、對數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時靠高速轉(zhuǎn)動的圓盤對氣體分子進(jìn)行“拖動”,使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動,從而達(dá)到抽氣目的。
筒式牽引級是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽,如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進(jìn)行動量傳遞,提高泵的抽氣效果。在設(shè)計制造中,可以通過改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)來達(dá)到較理想的抽氣效果。
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