當(dāng)氣體暴露在電子區(qū)域時可以形成等離子體。如果該區(qū)域氣流足夠強(qiáng)，高比例的氣體原子將服從電子或兩個成為已電離的。由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放的高能電子組成的氣體等離子或離子。已電離的氣體原子的動能相對較小，除非他們通過電場加速。加速時，他們會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。等離子體效應(yīng)的過程轉(zhuǎn)換成材料的蝕刻工藝?；钚詺怏w在分子級上的使用也產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)。
氣體等離子體類型：各向異性等離子體是有方向性的，由電氣控制一些具體的高能離子，或某個范圍的能量（見美國鋁框系統(tǒng)）。
各向同性等離子體是多方位和包含整個的3–D等離子的設(shè)備（見美國石英筒備系統(tǒng)）。
氣體等離子體處理了超過濕化學(xué)處理幾個優(yōu)點。液體的表面張力的現(xiàn)象消除，正如泡沫的形成，這可能會導(dǎo)致不完全濕化。等離子蝕刻可以迅速結(jié)束，終止進(jìn)程，而液體蝕刻工藝很難準(zhǔn)確的結(jié)束。
“綠色”的優(yōu)勢：無氟氯化碳和污水，操作和環(huán)境安全。排除有毒和腐蝕性的液體。等離子處理的主要缺點是較低的吞吐量。
我們致力于氣體等離子處理，即讓氣體在常溫下，無熱相變下改變。這些氣體可以是惰性的，也可以是起反應(yīng)的。在反應(yīng)性氣體的情況下，利用動量轉(zhuǎn)移處理以及氣體反應(yīng)的化學(xué)性質(zhì)改變材料的特性。
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